反應艙

材料：鋁
有效尺寸：1000 x 700 x700mm
容積：490L
艙門：裝有可視窗口
托盤：5個    尺寸：858 x 672mm

真空度測量

皮拉尼真空計

真空泵

干式真空泵泵組

頻射發(fā)生器

根據(jù)客戶應用需求定制

控制系統(tǒng)

PLC可實現(xiàn)下列功能：

• 自動控制反應過程；
• 根據(jù)處理材料設定不同的處理工藝參數(shù)；
• 測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標；
• 監(jiān)測所有的運行指標，保證各項參數(shù)在設定范圍之內(nèi)；
• 設定操作進入密碼。

電源

380V AC, 三相，50Hz, 40A

反應氣體

一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道；輸入壓力：1Bar

尾氣排放

直徑28mm 輸出端口

性能

急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE認證。