反應艙

材料: 鋁
有效尺寸: 1600 x 1350 x 850mm
容積: 1836L
艙門: 裝有可視窗口
插槽: 4個  尺寸: 1000 x 285mm, 每個插槽可放多個285 x 756mm托盤

真空度測量

皮拉尼真空計

真空泵

干式真空泵泵組

頻射發(fā)生器

根據客戶應用需求定制

控制系統(tǒng)

PLC可實現下列功能:
自動控制反應過程;
根據處理材料設定不同的處理工藝參數;
測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標;
監(jiān)測所有的運行指標, 保證各項參數在設定范圍之內;
設定操作進入密碼。

電源

380V AC, 三相, 50Hz, 63A

反應氣體

一個氣體輸入端口, 含氣體流量控制器（MFC）

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道; 輸入壓力: 1Bar

尾氣排放

直徑28mm 輸出端口

性能

急停開關; 真空泵保護鎖; 高溫保護鎖; CE認證。